Volume Pattern Generator" sistemas, VPG para abreviar, da Heidelberg Instruments são usados principalmente na produção industrial em massa. Eles usam lasers UV para gerar fotomáscaras com alta precisão e velocidade, que servem como modelos para a produção de microchips, sensores, LEDs e MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems, sistemas microeletromecânicos). Outras aplicações possíveis para os sistemas VPG incluem a gravação direta de microestruturas em wafers.
Além da precisão extremamente alta, a operação 24 horas por dia, 7 dias por semana e tempos de ciclo muito curtos a cada segundo fazem parte do perfil de requisitos dos acionamentos dos sistemas. Michael Kappel, Chefe de Projeto Elétrico: "É por isso que desenvolvemos muitos componentes principais, inclusive mesas XY com rolamento a ar, internamente." Como o processo de exposição ocorre em condições de sala limpa, os componentes de acionamento devem ser selecionados de acordo. Isso se aplica especialmente às linhas de fornecimento de energia, sinal e mídia para a mesa XY. Até mesmo as menores partículas de poeira prejudicam a qualidade da exposição. Outro requisito é pelo menos tão importante. Kappel: "Até mesmo a menor perturbação no curso do fornecimento de energia deve ser evitada, pois reduz a precisão da exposição."
